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VSP-88L

VSP-88L

Application

다양한 기판 및 웨이퍼 등의 세정 및 평가 가능 시스템

Specification

TABLE
Application Size
  • 2 Magazines [Max W95 * H150 * D280]
  • 12" Wafer
Power Source RF Generator, 13.56MHz, 300W
Vacuum Pump 617L/Min Dry Pump [Option : Oil Rotary Pump]
Gas Flow Controller 1 Mass Flow Controller for Standard
[Option : Additional MFC (O2 or Other Gas)]
System Dimension W720mm * H733mm * D761mm (Except Tower Lamp)
[Pump : W330mm * H530mm * D780mm]
Internal Chamber Size W424mm * H274mm * D437mm
Weight Aro 170Kg
Utility 220VAC, 3Phase, 6A, Air : 5kgf/㎠, Ar : 3kgf/㎠, N2 : 4kgf/㎠
PC Based Main Control Windows XP Embedded & C++ Language & TFT LCD Touch Screen

Features

전극판교체에 따른 다양한 기능
손 쉬운 설치
PC 기반의 쉬운 운용